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無塵棚的濕度應控制在多少
編輯:蘇州維德姆設備科技有限公司   時間:2019-10-18

無塵棚的溫濕度主要根據工藝要求確定,但在滿足工藝要求的前提下,應考慮人的舒適性。隨著空氣潔凈度要求的提高,對溫濕度的工藝要求也越來越嚴格。具體工藝對溫度的要求將在后面列出,但作為一般原理,由于加工精度越來越精細,對溫度波動范圍的要求越來越小。

 

無塵棚是紊流潔凈室空間中用防靜電透明塑料布圍成的小空間。采用獨特的高效高效過濾器和空調送風機組,成為更高的潔凈室。其等級為100-10000級,內部空間高度約2-3米,覆蓋面積一般在100平方米以內。四根柱子可配活動輪,活動輪具有彈性。申請。

 

無塵棚需要將車間濕度控制在合理范圍內,以保證產品合格率和性能。潔凈車間的濕度是多少?當濕度過高時,附著在硅片表面的灰塵會被空氣中的水分子化學吸附在硅片表面,很難去除。相對濕度越高,去除附著力越困難。然而,當相對濕度低于30%時,由于靜電的作用,粒子容易吸附在表面,大量半導體器件容易發生擊穿。硅片生產的較佳濕度范圍為35-45%。

 

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